苏州华源控股股份有限公司_磁悬浮分子泵（TMP）

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磁悬浮分子泵（TMP）

应用场景：芯片制造的超高真空核心设备，是前道 Fab、后道封装、量检测试及先进工艺的标配，是保障良率与设备寿命的“真空心脏”。
出品公司：苏州致源真空科技有限公司

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优势方案

可靠性核心技术

系统级可靠度

制造核心技术

超精密加工、无应力装配

控制核心技术

高速驱动控制、全维度监测保护

材料核心技术

材料疲劳预测、热形变控制

磁悬浮核心技术

磁浮轴承、微米级悬浮

设计核心技术

流体动力学设计、高速转子动力学