苏州华源控股股份有限公司_快速退火炉（RTP）

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快速退火炉（RTP）

应用场景：对晶圆做毫秒～秒级精准热预算控制，主要用在前道制程里，用来激活掺杂、修复损伤、稳定薄膜。
出品公司：寰鼎集成电路（上海）有限公司

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优势方案

支持SECS/GEM功能

的晶圆均匀性

无氧化环境控制

SEMI-S2/CE 认证

Standard SMlF ports(1200A-SEF)

Open cassette(1200A-SEC)

双面加热陈列设计

更大工作温度~1250°C

兼容大气或真空工艺

支持6''~8''晶圆处理

化合物半导体专用全自动快速退火炉